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◆高通量的断面研磨配备断面研磨能力达到500µm/h*2以上的高效率离子枪。因此,即使是硬质材料,也可以高效地制备出断面样品。*2在加速电压6kV下,将Si从遮挡板边缘伸出100µm并加工1小时时的超大深度◆断